YLCVD系列6KW微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统是针对用户的具体要求设计和研制的一台高配置、多用途、高稳定中等压强微波等离子体（MPCVD）综合加工设备。它具有性能先进、功能完善、结构合理，使用方便、安全可靠、外形美观，特别适合应用于单晶和多晶金刚石膜片的化学汽相沉积（CVD）；材料表面处理和改性；低温氧化物的生长等高新科技领域。